CARATTERIZZAZIONE DI MICROFONI MEMS E VALUTAZIONE DEL LORO IMPIEGO PER MISURE IN AMBITO SCIENTIFICO

Characterization of MEMS microphones and evaluation of their use for scientific measurements purposes

L’acustica è la branca della fisica che studia il suono, le cause, la propagazione e la ricezione; in senso generale comprende anche le onde nelle bande inferiore e superiore a quella sonora, rispettivamente infrasoniche e ultrasoniche. Saranno introdotti di seguito alcuni elementi di acustica al fine di basare ogni argomento su solidi principi fisici in stretta relazione tra loro, utili per comprendere al meglio nei capitoli successivi i parametri acustici o elettrici caratterizzanti qualsiasi tipo di microfono, validi anche per i mems così da comprendere qualitativamente l’origine dei valori distintivi di questi dispositivi. Successivamente, nel capitolo 2 si passa alla descrizione in generale dell’oggetto di studio di questa tesi, ovvero i microfoni mems per poter ulteriormente distin- guere i vari tipi di dispositivi in analisi e poterne apprezzare le particolarità che li distinguono nel mondo di traduttori simili. Nel capitolo 3 saranno approfonditi gli aspetti relativi al microfono mems misu- rato, gli accessori utili al suo funzionamento, le modalità e le condizioni di misura. Nel capitolo 4 saranno mostrati i risultati di misura successivamente, subito precedentemente commentati. Infine, nel 5° capitolo si illustrano alcune tra le le più interessanti applicazioni dei microfoni mems . Chi vuole approfondire come sono stati illustrati i risultati di misura o verificarne la qualità può consultare le appendici.